该装置通过多个水路和气路同轴的掠入射喷射口，将少量水高速喷射到待加工材料表面。通过调节气压和水流量、增加喷射口数量或使喷射口左右摆动，在材料表面形成大面积的薄层水膜。激光经场镜聚焦在水膜覆盖的材料表面，通过振镜高速扫描进行烧蚀加工。该方法能够有效消除或抑制激光烧蚀中热效应产生的不利影响，减少碎屑堆积，提高激光烧蚀加工的质量和效率。

提高加工质量：通过水气辅助，有效减少热效应和碎屑堆积，提升加工表面质量和精度。 增强加工效率：水气同轴喷射形成的水膜能够快速冷却加工区域，减少热影响区，提高加工速度。 适应复杂加工需求：适用于多种材料和复杂形状的加工，如曲面和微细结构。 降低能耗与成本：优化的加工过程减少了激光能量的浪费，降低了加工成本。

水气同轴喷射技术：通过水气同轴喷射口，精确控制水和气的流量和压力，形成稳定的水膜，显著减少加工过程中的热效应。 振镜高速扫描：结合振镜扫描技术，实现高精度、大面积的激光加工。 实时冷却与清洁：水膜不仅起到冷却作用，还能有效清除加工过程中产生的碎屑，保持加工区域清洁。

目前，该水气同轴辅助振镜扫描的激光加工装置已进入实际应用阶段，并在多个领域表现出色。其创新的水气辅助技术显著提升了激光加工的质量和效率，受到工业界和科研机构的高度关注。未来，随着技术的进一步优化和推广，该装置有望在更多高端制造领域得到广泛应用。