中国电子科技集团公司第四十八研究所成立于1964年5月，前身是由原国防科委第14研究院北京新工艺研究室和原公安部湖南实验工厂（826厂）合并组建而成的国家骨干军工科研院所。

十八所是国内唯一以“三束”（电子束、离子束、分子束）微细加工新工艺技术为主的军民两用型电子专用装备研究所,主要任务是军民结合、保军转民的各类电子元器件制造关键工艺装备和军用特种材料及军用特种传感器的研制生产。经过数十年的奋斗，四十八所现已成为国家级的微电子、光电子、太阳能电池、电力电子、磁性材料等专用设备研发、生产的专业机构，是国内半导体装备的主要供应商、太阳能电池制造装备和磁性材料制造装备的最大供应商、国家离子注入机等半导体专用设备研发中心和产业化生产基地、军用合金薄膜压力传感器和SOI材料定点研发生产基地、科技部和北京市晶体硅太阳能电池示范生产单位。四十八所设有一个军品研发中心和四个民品产业化专业公司，在职人员750人，其中技术人员508人，包括享受政府津贴的专家29人，研究员级高级工程师33人，高级工程师91人，工程师256人。全所历年来共获得260余项科研成果，其中：省、部级以上科研成果奖82项，填补国内空白项目95项，达到国际先进水平项目52项，列为国家替代进口项目44项。